Keterangan
Vakum tertinggi: 1 x 10-5Pa
Vakum kerja: sistem terpapar dalam kondisi ATM dalam waktu singkat kemudian mengisi gas N kering dan degassing, tingkat vakum dapat dicapai 1 x 10-4Pa masuk 60 min.
Laju kenaikan tekanan sistem: ≤0,2 Pa/jam (nilai rata-rata setelah pompa ditutup 12 jam)
Dimensi zona kerja: zona kebencian vertikal Φ300 x 350mm(h); zona keseragaman suhu Φ200 X250mm
Suhu zona kerja: Suhu pemanasan maksimal 1000C; kisaran suhu pemanasan terukur ~ 850C; keseragaman suhu ±3C
Metode kontrol pemanasan zona kerja: kontrol otomatis yang dapat diprogram, pengendalian proses, memantau, pengumpulan dan perawatan data dengan kontrol otomatis komputer.
Akurasi kontrol suhu: zona suhu konstan ±3C
Akurasi pengukuran suhu termokopel: ＜1C
Jalur gas proses satu arah cocok, pengukur aliran kualitas menyesuaikan aliran gas.
Vakum kerja: sistem terpapar dalam kondisi ATM dalam waktu singkat kemudian mengisi gas N kering dan degassing, tingkat vakum dapat dicapai 1 x 10-4Pa masuk 60 min.
Laju kenaikan tekanan sistem: ≤0,2 Pa/jam (nilai rata-rata setelah pompa ditutup 12 jam)
Dimensi zona kerja: zona kebencian vertikal Φ300 x 350mm(h); zona keseragaman suhu Φ200 X250mm
Suhu zona kerja: Suhu pemanasan maksimal 1000C; kisaran suhu pemanasan terukur ~ 850C; keseragaman suhu ±3C
Metode kontrol pemanasan zona kerja: kontrol otomatis yang dapat diprogram, pengendalian proses, memantau, pengumpulan dan perawatan data dengan kontrol otomatis komputer.
Akurasi kontrol suhu: zona suhu konstan ±3C
Akurasi pengukuran suhu termokopel: ＜1C
Jalur gas proses satu arah cocok, pengukur aliran kualitas menyesuaikan aliran gas.
